上海漢鍾幹式真空泵 PS係列 

包括機型  漢鍾真空泵PS80 ，漢鍾真空泵PS160，漢鍾真空泵 PS180，漢鍾真空泵 PS602，漢鍾真空泵 PS902,漢鍾真空泵 PS1302,漢鍾真空泵 PS1802

幹式無油真空泵  產品特色

漢鍾精機PS係列 幹式無油真空泵    利用一對互相咬合的螺旋轉子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑，因而無油氣回漏汙染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果，終極壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由於排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表麵披覆特殊材質的鍍膜，因此可適用於PECVD、Etching等嚴苛製程。

泵浦溫度控製精準 

漢鍾精機PS係列幹式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計，同時改善殼體的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準地控製泵浦內部溫度，減少沉積物的產生，增加真空泵浦的壽命。 

密封馬達安全性高

PS係列真空泵浦亦全麵采用高端的水冷罐裝密封馬達，除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外，也可完全避免製程氣體外漏的風險。

微電腦控製保護周全 

PS係列真空泵浦亦可配備微電腦控製器，可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保護，十分適用於光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。

漢鍾幹式無油螺杆真空泵 特點：

1 排氣路徑短，減少反應物沉積；

2 線性密封性佳，泵性能最優；

3 結構簡單，故障率低，維修容易；

4 電機水冷設計，通過防爆認證，安全百分比；

5 微電腦操作，遠端監控，保護周全。